西斯特减薄砂轮包含树脂结合剂、金属结合剂、陶瓷结合剂三类,适用于硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、磷化铟、蓝宝石等半导体材料的研磨减薄。可根据客户要求提供产品定制服务,满足不同半导体材料研磨需要。
主要特点:
1、不同粒度产品,满足不同材料研磨需要。
2、良好的自锐性,保持砂轮锋利度、高切削能力。
3、具有高保型性,使用寿命长。
4、多孔容屑,提高研磨效率、改善研磨质量。
5、大幅降低对晶圆的损伤、保证晶圆面型精度。
6、适用于6'、8'、12'不同尺寸晶圆加工。