在半导体晶圆封装的早期阶段,切割刀是切割晶圆和制造芯片的重要工具,直接影响芯片的质量和寿命。
因为芯片的微型化、量大、效率高,芯片构造越来越复杂,芯片之间的空间愈来愈小,切割空间越来越窄。所以,精密晶圆切割刀的技术标准越来越高。
现在,切割晶圆有两种方法:一种是激光切割,另一种是机械切割,后一种是当前切割晶圆的重要形式。原因有以下:
(1)激光切割不能使用大功率,以免在热影响区损坏芯片。
(2)激光切割设备很昂贵,
(3)激光切割不能完全切割,所以第二次切割最终还是需要切割机刀片完成,因此切割机刀片是半导体封装过程中长期不可缺少的材料之一。
大多数硅基集成电路和设备产品在封装时需要用切割机刀片切割。过去20多年,全球经济和半导体行业的数据表明,半导体集成电路及设备市场年增长率和全球增长率GDP年增长率同步,所以对切片刀的要求也在逐年递增。