本文讨论超纯水和CO2起泡器对硬刀的影响。我们生产过程中为了防止硅IC加工时产生静电，通常使用CO2起泡器去除静电。 根据CO2起泡器的电阻率，切割水有时会对刀刃（接合部）产生腐蚀，导致无法进行稳定的加工。

下面我们通过三组实验来对比看看超纯水和CO2起泡器对刀片的影响。

* 超纯水电阻率：18MΩ·CM

一、实验条件的设定

二、不同条件下的实验结果

1. 正常刀片表面情况

2. 第一组实验，72小时 空转 超纯水

实验结果：

铝（轮毂）被腐蚀，溶出的铝粘附在刀刃上。刀刃的机器侧被轻微腐蚀，刀片的操作侧没有被腐蚀，因为它被氧化铝覆盖。

PS：超纯水（16MΩ.cm 或更高，杂质为 1ppb 级）被称为饥饿水，接触材料会发生 ppb 级的洗脱

3. 第二组实验， 72小时 空转 超纯水+CO2起泡器

实验结果：

铝（轮毂）被腐蚀，刀刃（机器侧+操作侧）都被腐蚀。

PS: PH值4-8之间铝（轮毂）不会被腐蚀，但是镍基体在PH值低于6（含）就会被腐蚀。

4. 第三组实验 72小时 持续切割 03 超纯水+CO2起泡器

实验结果：

铝（轮毂）和刀刃（机器侧+操作侧）都没有被腐蚀。

原因：加工硅时产生的污染物（切削粉尘）粘附在刀片上，从而使刀片被 SiO2薄膜覆盖。

建议：如果长时间不进行加工，请停止切割水。 尤其是当使用辅助起泡器时，即使pH值在6左右，刀片在空转过程中也可能被腐蚀。因此，长时间等待过程中，应关闭切割水。

三、总结

空转状态指的是在实际开始加工之前，同时开启主轴和切割水大约 30 分钟的待机状态。 这样做是为了能够以稳定的精度操作机器（暖机）。

更换刀片后，请务必在安装前将主轴空转 10 分钟。 如果空转（暖机时间）不足，安装位置可能会有偏差。